編者按：隨著中大尺寸OLED市場需求持續(xù)增長，OLED面板產(chǎn)線也在從6代線向8.6代線加速升級。根據(jù)市場研究機構(gòu)Omdia的預測，2024年OLED市場份額將達到56%。2025年，更多高世代OLED面板生產(chǎn)線臨近量產(chǎn)，將為上游原材料和設(shè)備供應商帶來巨大商機。

高世代OLED量產(chǎn)在即，產(chǎn)業(yè)鏈在行動。目前，如OLED發(fā)光材料、基板材料、偏光片和關(guān)鍵膜材、超精細金屬掩膜版（FMM）、生產(chǎn)設(shè)備等都在積極適配8代OLED?！吨袊娮訄蟆诽赝瞥觥爱a(chǎn)業(yè)鏈備戰(zhàn)高世代OLED”系列報道，敬請關(guān)注。

合肥欣奕華OLED蒸鍍設(shè)備

中國企業(yè)正在全球OLED設(shè)備市場撕開一道關(guān)鍵突破口。

隨著全球OLED產(chǎn)業(yè)向中大尺寸加速演進，中國OLED顯示產(chǎn)業(yè)鏈開始迎來一場深刻的變革。而這場變革的核心，是OLED設(shè)備的國產(chǎn)化突圍——從技術(shù)空白到自主可控，從前段光刻到中段蒸鍍，再到后段模組，我國在OLED核心設(shè)備領(lǐng)域接連實現(xiàn)技術(shù)突破，逐步瓦解國外企業(yè)長期構(gòu)筑的“高墻”。

OLED設(shè)備國產(chǎn)化正當時

全球OLED產(chǎn)業(yè)重心正加速向中國轉(zhuǎn)移。Omdia的數(shù)據(jù)顯示，截至2025年1月，在中小尺寸OLED領(lǐng)域，中國OLED市場份額已近50%，首次超過韓國躍居世界第一。然而，在這波產(chǎn)業(yè)格局變遷的浪潮中，OLED設(shè)備國產(chǎn)化也面臨著巨大挑戰(zhàn)。

從CINNO research的統(tǒng)計數(shù)據(jù)來看，國內(nèi)設(shè)備供應商在OLED制程中的覆蓋比率整體只有39%。蒸鍍、曝光等前道核心工序，國產(chǎn)化率甚至低于20%。

聯(lián)得裝備技術(shù)策劃部總監(jiān)王建太在接受《中國電子報》記者采訪時具體介紹了我國OLED設(shè)備行業(yè)的現(xiàn)狀：在顯示產(chǎn)業(yè)鏈的后段模組設(shè)備領(lǐng)域（切割、貼合、綁定等環(huán)節(jié)），中國的發(fā)展成效顯著，設(shè)備國產(chǎn)化率已超過85%。然而，真正體現(xiàn)技術(shù)實力的那些處于產(chǎn)業(yè)鏈更前端、技術(shù)壁壘更高的核心設(shè)備——包括前段陣列工序所需的曝光設(shè)備、刻蝕設(shè)備，以及中段篜鍍封裝工序所需的蒸鍍設(shè)備、封裝設(shè)備等，長期以來，我國還主要依賴國外先進企業(yè)的供應。

具體而言，在核心工序環(huán)節(jié)，蒸鍍設(shè)備市場由日本Canon Tokki主導。曝光設(shè)備主要掌握在佳能、尼康等日本企業(yè)手中?；瘜W氣相沉積（CVD）/物理氣相沉積（PVD）等氣相沉積設(shè)備領(lǐng)域，則被美國應用材料（AMAT）、日本東京電子（TEL）等所掌控，這兩家公司同樣在干法刻蝕設(shè)備市場占據(jù)主導地位。

我國顯示設(shè)備產(chǎn)業(yè)“前段弱”是我國OLED產(chǎn)業(yè)發(fā)展的最大掣肘。據(jù)國內(nèi)某顯示面板廠技術(shù)負責人回憶，在企業(yè)建設(shè)6代OLED生產(chǎn)線時，光等待日本佳能Tokki的蒸鍍機就延誤了半年工期。所以說，我國OLED產(chǎn)業(yè)在發(fā)展過程中，還存在“一機難求”之痛。

OLED關(guān)鍵設(shè)備國產(chǎn)化成效初顯

業(yè)內(nèi)專家告訴記者，我國OLED產(chǎn)業(yè)向更高層次發(fā)展的關(guān)鍵是設(shè)備，而設(shè)備的國產(chǎn)化進展則既要保證“后段”持續(xù)引領(lǐng)，又要做到“中前段”的奮起直追。如今，一批中國企業(yè)正以“螞蟻雄兵”的姿態(tài)發(fā)起突圍，我國OLED關(guān)鍵設(shè)備國產(chǎn)化成效初顯。

刻蝕設(shè)備被稱為實現(xiàn)精密電路圖案化的“手術(shù)刀”。過去，這一領(lǐng)域長期被海外廠商壟斷，國內(nèi)半導體設(shè)備頭部廠商中微公司通過技術(shù)迭代，不僅提升了刻蝕精度，還顯著降低了工藝復雜度，使其設(shè)備在中小尺寸OLED產(chǎn)線中展現(xiàn)出競爭力。據(jù)業(yè)內(nèi)人士透露，中微公司的刻蝕設(shè)備已經(jīng)進入國際廠商供應鏈。

在OLED生產(chǎn)中，檢測設(shè)備是保障良率和品質(zhì)的“守門人”。精測電子作為國內(nèi)少數(shù)量產(chǎn)OLED檢測設(shè)備的龍頭設(shè)備公司，其自主研發(fā)的OCD（光學臨界尺寸）設(shè)備通過高精度算法，可對OLED薄膜厚度進行納米級測量，誤差控制在0.5%以內(nèi)。精測電子在2025年6月的業(yè)績說明會上透露，其檢測設(shè)備已獲得頭部客戶訂單。

與此同時，華興源創(chuàng)在自動化檢測設(shè)備領(lǐng)域展現(xiàn)出獨特優(yōu)勢。其最新專利技術(shù)結(jié)合機器學習和多模態(tài)AI，實現(xiàn)了從分選、下料到歸整的全流程自動化。在生產(chǎn)效率提升和降低維護成本方面，有獨特優(yōu)勢，為OLED產(chǎn)線的智能化升級提供了“中國方案”。

華興源創(chuàng)G8.6 AMOLED TSP OS自動化檢測設(shè)備

蒸鍍設(shè)備是OLED產(chǎn)線中最核心的部分，直接影響面板良率和質(zhì)量，實現(xiàn)蒸鍍機的本土化更具“破局”意義。

合肥欣奕華智能機器股份有限公司合肥區(qū)域總經(jīng)理曹景博告訴《中國電子報》記者，自2014年合肥欣奕華啟動蒸鍍設(shè)備研發(fā)到目前，已形成G1至G6的全矩陣技術(shù)體系，并重點突破了G8.6高精度金屬掩膜版對位（≤2μm）、大尺寸基板蒸鍍均勻性（±1.5%膜厚）等技術(shù)瓶頸?！氨M管國產(chǎn)蒸鍍機的穩(wěn)定性落后于佳能Tokki，但依然能夠滿足平板顯示生產(chǎn)需求。況且，我們的設(shè)備投資成本較進口機型降低了20%~30%，在售后服務方面也更具優(yōu)勢?！辈芫安┭a充道。

高世代線成“試金石”

市場研究機構(gòu)DSCC的數(shù)據(jù)顯示，2023年全球OLED面板市場規(guī)模已突破420億美元，其中智能手機用小尺寸OLED顯示面板占比高達67%，平板電腦、筆記本電腦等中尺寸OLED顯示產(chǎn)品增速高達45%。

折疊屏手機、智能汽車、高端IT設(shè)備需求持續(xù)增長，推動OLED向更大尺寸躍進。三星顯示、LGD、京東方、維信諾等全球面板領(lǐng)軍企業(yè)紛紛布局高世代OLED，劍指中大尺寸OLED產(chǎn)能高地。

在OLED產(chǎn)線中，設(shè)備投資往往占總投入的70%~80%。高世代線密集落地，意味著巨大的設(shè)備需求釋放。這不僅為顯示行業(yè)注入新動能，也成為國產(chǎn)設(shè)備技術(shù)驗證與能力躍升的絕佳平臺。

近日，產(chǎn)業(yè)界頻傳國產(chǎn)8.6代OLED檢測設(shè)備取得關(guān)鍵突破并實現(xiàn)交付應用的消息。

凱倫股份旗下蘇州佳智彩自主研發(fā)的國內(nèi)首臺8.6代OLED De-mura設(shè)備成功解決了超大尺寸、高分辨率面板高速檢測難題，目前已交付頭部面板廠。華興源創(chuàng)成都子公司自主研發(fā)的國內(nèi)首臺G8.6 AMOLED TSP OS檢測設(shè)備也正式出貨，設(shè)備可實現(xiàn)微米級精度檢測，滿足從車載屏到筆記本、平板電腦等中大尺寸OLED面板的嚴苛檢測需求。

蒸鍍環(huán)節(jié)同樣傳來好消息。合肥欣奕華自主研發(fā)的G8.6點型蒸發(fā)源系統(tǒng)已通過頭部面板廠商的適配驗證，填補了產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵空白，其G8.6 OLED蒸鍍機研發(fā)也正在有序進行，現(xiàn)已取得了初步的成效。

隨著OLED面板向8.6代線升級，大尺寸和柔性化趨勢對模組提出了新要求。在大尺寸貼合設(shè)備方面，聯(lián)得裝備參與了京東方8.6代AMOLED產(chǎn)線建設(shè)，通過技術(shù)合作成功實現(xiàn)了大片貼合設(shè)備的國產(chǎn)化。目前，聯(lián)得裝備高世代貼合設(shè)備和EHD點膠設(shè)備性能已獲得客戶認可，并有望進入客戶端。

聯(lián)得裝備大尺寸貼合設(shè)備

“未來3年是決定性窗口期?！庇袠I(yè)內(nèi)人士預測稱，OLED8.6代線量產(chǎn)在即以及未來將有更多高世代OLED線相繼投建，勢必使高端設(shè)備需求激增。而快速進步的產(chǎn)業(yè)也將倒逼本土化進程提速，甚至推動中國從“設(shè)備進口國”向“技術(shù)輸出國”轉(zhuǎn)型。

業(yè)內(nèi)人士表示，高世代OLED線不僅是產(chǎn)能的標尺，更是技術(shù)的試金石。在此淬煉下，我國顯示設(shè)備產(chǎn)業(yè)若能打破“后段強、前段弱”這一結(jié)構(gòu)性矛盾，在全球顯示產(chǎn)業(yè)中承擔高端設(shè)備輸出重任，那么我國在全球顯示產(chǎn)業(yè)的話語權(quán)將更加牢固。正如曹景博所勾勒的愿景：“國際面板巨頭排隊采購中國蒸鍍機時，才是真正的產(chǎn)業(yè)反轉(zhuǎn)時刻。”

責任編輯：趙強